酸堿性質(zhì)的氣體：

        首先將待處理氣瓶連接到氣體控制面板上，使用氮?dú)庵脫Qpigtail部分，然后通過(guò)控制面板減壓并控制流量，將需要處理的氣體通入相應(yīng)的洗滌塔，氣體通過(guò)洗滌塔的塔身內(nèi)部，塔身內(nèi)壁為酸/堿水霧，堿性/酸性氣體穿過(guò)水霧時(shí)和水霧中的酸/堿產(chǎn)生中和反應(yīng)生成鹽。酸性氣體通入到堿洗滌塔，和洗滌塔中的堿進(jìn)行酸堿反應(yīng)生成鹽分，堿性氣體通入酸性洗滌塔。
適用氣體：

       堿性氣：NH3

       酸性氣：HCl、HBr、F2 Mix 、 HF、CL2、H2S、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、BCl3、SO2等。

可燃分解類氣體：

        首先將待處理氣瓶連接到氣體控制面板上，使用氮?dú)庵脫Qpigtail部分，然后通過(guò)控制面板減壓并控制流量，將需要焚燒的氣體通入焚燒爐，使其燃燒或高溫分解，降解為無(wú)害物質(zhì)或者分解成可以被酸堿中和的物質(zhì)，燃燒后的尾氣被送入除塵設(shè)備除塵，然后被送入洗滌設(shè)備進(jìn)行中和反應(yīng)。

適用氣體：

       可燃分解類氣體：SiH4、PH3、PH3 Mix、B2H6、CH4、H2、 NF3、SF6等。